Vlastnosti difúznych silikónových tlakových senzorov

Vlastnosti difúzneho silikónového tlakového senzoraUPX19

1. Je vhodný na výrobu vysielačov malého rozsahu: piezorezistívny efekt silovo citlivého odporu kremíkového čipu nemá mŕtvu zónu v dolnej časti v blízkosti nulového bodu a dosah snímača tlaku môže byť ako malé ako niekoľko Kpa.

2. Vysoká výstupná citlivosť: Faktor citlivosti odolnosti proti deformácii kremíka je 50 až 100-krát vyšší ako u kovových tenzometrov, takže citlivosť zodpovedajúceho snímača je veľmi vysoká a celkový výstupný rozsah je asi 100 mv. Preto neexistujú žiadne špeciálne požiadavky na obvod rozhrania a je pohodlnejšie ho používať.

3. Vysoká presnosť: Pretože pocit, citlivá konverzia a detekcia snímača sú realizované rovnakým komponentom, neexistuje medzikonverzné prepojenie a opakovateľnosť a chyba hysterézie sú malé. Pretože samotný monokryštalický kremík je veľmi tuhý a deformácia je malá, je zabezpečená dobrá linearita.

4. Keďže jednopohlavná deformácia diela je taká nízka ako rádovo mikroprepätie, maximálny posun elastického čipu je rádovo submikrón, takže nedochádza k opotrebovaniu, únave, starnutiu a životnosť je až 1×103 tlakového cyklu, stabilný výkon a vysoká spoľahlivosť.

5. Vďaka vynikajúcej chemickej odolnosti kremíka proti korózii majú aj neizolované difúzne kremíkové tlakové snímače schopnosť sa do značnej miery prispôsobiť rôznym médiám.

6. Keďže čip využíva integrovaný proces a nemá žiadne prenosové časti, má malú veľkosť a nízku hmotnosť.

Pre podrobnosti kontaktujteStella Meng.